[1]　M.J.Bowden,S.R.Turner,Eds.,ElectronicandPhotonicApplicationsofPolymers,ACSAdvancesinChemistrySeries,Vol.218,AmericanChemicalSociety,Washington,DC,1988.[2]　J.H.McCoy,W.Lee,G.L.Varnell,SolidStateTechnol.,32(3),87(1989).[3]　L.F.Thompson,C.G.Willson,M.J.B...[繼續(xù)閱讀]

    本章的目的是介紹化學氣相沉積的基本方面和技術意義。這一章并不是為了提供本領域全面的綜述而是著重于內在的原理。這將為讀者提供材料化學氣相沉積(CVD)方面關鍵性問題的正確評價,如這個領域是如何發(fā)展到現(xiàn)在的狀況的、...[繼續(xù)閱讀]

    本節(jié)的目的是為不同的氣相沉積方法提供一個視角,其中包括這些方法的局限性、相對優(yōu)點和缺點。大多數(shù)薄膜沉積方法可以分為兩類:化學氣相沉積和物理氣相沉積。除了前面各節(jié)所提到的化學氣相沉積外,目前還有很多與CVD相關的...[繼續(xù)閱讀]

    在這一節(jié),我們討論化學氣相沉積(和物理氣相沉積)作為一種沉積方法在微電子工業(yè)中的選擇性應用,該沉積方法可以沉積純金屬、半導體、絕緣體和元素混合物。讀者可以參考以下關于應用金屬CVD在集成電路的金屬化工藝中進行薄膜...[繼續(xù)閱讀]

    在這一章里我們討論了薄膜CVD的不同方面,對化學氣相沉積工藝的關鍵特征和分子前驅體的化學和物理要求作了詳細說明?；瘜W氣相沉積按順序被分成多步來進行描述,為了在工藝開發(fā)方面取得重要進步,必須控制和理解其中每一步。...[繼續(xù)閱讀]

    [1]　T.T.Kodas,M.J.Hampden-Smith,TheChemistryofMetalCVD,VCH,Weinheim,Germany,1994.[2]　D.G.Whitten,T.Kajiyama,T.Kunitake,OrganicThinFilms:AnOverview,MRSBulletinMaterialsResearchSociety,Vol.XX,1995.[3]　R.West,SolidStateChemistryandItsApplications,Wiley,NewYo...[繼續(xù)閱讀]

    自從激光問世以后,光在傳輸、存儲和處理信息方面的用途愈加廣泛。由于高性能非線性光學材料的光學特性對于外部電場或者激光自身的電場具有高度敏感性,所以當前全面開發(fā)光子技術的趨勢催生了對于該種材料的需求。非線性光...[繼續(xù)閱讀]

    6.2.1　極化的微觀描述[11]為什么一個分子(或者一種物質)在某種電場,比如光波的振蕩電場中,會產生極化現(xiàn)象?為了了解這個過程,我們需要想像當電場(E)和系統(tǒng)的電荷分布相互作用時,在分子水平上到底發(fā)生了什么。這種相互作用產生...[繼續(xù)閱讀]

    在這一部分,我們簡單地、定性地討論了用量子方程設計非線性光學分子的方法,解釋了實驗結果。這種理論方法描述了幾何和電子結構的、微觀極化和超強極化的演變信息。本文中已經數(shù)次回顧了這種在電場中使用的方法[8,23-25]。需...[繼續(xù)閱讀]

    我們利用NLO性質的技術是建立在對化學結構和分子非線性性質的關系的理解程度之上。這是因為有機材料的性質實質上是組成材料分子的性質。初期具有共軛π電子的有機化合物被認為是具有潛在非線性性質的結構。π電子云很容易...[繼續(xù)閱讀]