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 雕塑薄膜的生長過程與一般薄膜的生長過程有相似之處。但是,由于斜入射沉積的陰影效應,又有其自身的特點。陰影效應是斜入射薄膜結構不同于一般薄膜結構的一個最重要的原因。如圖2-4-1所示,當蒸發(fā)束流傾斜入射時,隨著薄膜的 (共 1362 字) [閱讀本文] >>
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 雕塑薄膜的生長過程與一般薄膜的生長過程有相似之處。但是,由于斜入射沉積的陰影效應,又有其自身的特點。陰影效應是斜入射薄膜結構不同于一般薄膜結構的一個最重要的原因。如圖2-4-1所示,當蒸發(fā)束流傾斜入射時,隨著薄膜的 (共 1362 字) [閱讀本文] >>