MEMS壓阻式壓力傳感器梁-膜-三島膜結構設計與優(yōu)化

摘要： 傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器雖然靈敏度高但非線性度也高。針對該問題，設計了一種以敏感膜片為梁-膜-三島結構的新型壓阻式壓力傳感器，通過在敏感膜片上設計3個方島結構來提高傳感器的線性度和抗過載能力；同時，利用敏感膜片上設計的短窄梁結構形成應力集中區(qū)，保證壓力傳感器的高靈敏度。對結構進行仿真分析，建立壓力膜尺寸參數(shù)與力學性能之間的數(shù)學模型，對數(shù)學模型參數(shù)進行了分析、擬合和求解，最后求解非... （共10頁）