金屬離子及非硅穩(wěn)定劑對化學機械漿漂白過程中過氧化氫穩(wěn)定性的影響

摘要： 本研究主要探討了Ca²⁺、Mg²⁺、Fe³⁺、Cu²⁺、Mn²⁺5種金屬離子和6種非硅穩(wěn)定劑對化學機械漿漂白過程中殘余H₂O₂含量的影響。結(jié)果表明，Ca²⁺、Mg²⁺可以提高殘余H₂O₂含量，F(xiàn)e³⁺、Cu²⁺、Mn²⁺降低了殘余H₂O₂含量，且降幅明顯。非硅穩(wěn)定劑中羥基亞乙基二膦酸（HEDP）的鈣鐵螯合值... （共5頁）