碳化硅陶瓷脈沖激光加工改性表面特征研究

摘要： 采用脈沖激光對(duì)碳化硅陶瓷進(jìn)行加工，通過(guò)單因素實(shí)驗(yàn)探究激光功率、掃描次數(shù)、光斑重疊率等激光工藝參數(shù)對(duì)工件改性表面特征的影響規(guī)律。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，當(dāng)激光功率較小時(shí)，工件表面形成周期性的起伏溝槽，且隨機(jī)分布著破碎凹坑；當(dāng)激光功率逐漸增大時(shí)，工件表面逐漸出現(xiàn)崩裂的熱致裂紋；表面粗糙度隨激光功率的增大先減小后增大。當(dāng)掃描次數(shù)較少時(shí)，工件表面結(jié)構(gòu)較為淺薄、稀松；隨著掃描次數(shù)的增加，工件表面形...