基于多節(jié)點(diǎn)陣列結(jié)構(gòu)的高精度薄膜溫度傳感器研究

摘要： 針對(duì)液壓系統(tǒng)中的智能感知需求，提出一種新型微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-electro-mechanical system, MEMS)薄膜溫度傳感器，其具有微小體積的同時(shí)兼具較高的測(cè)溫精度，可實(shí)現(xiàn)液壓元件及系統(tǒng)中油液溫度信號(hào)的精確感知。開發(fā)出基于高分子聚合物-金屬-陶瓷材料的新型測(cè)溫材料體系；提出一種多節(jié)點(diǎn)的三維陣列式電極結(jié)構(gòu)。針對(duì)三維立體曲面高分子聚合物基底上的熱電薄膜沉積難題，... （共9頁）