晶圓校準(zhǔn)器誤差補(bǔ)償與擬合算法的研究

摘要： 晶圓校準(zhǔn)器作為半導(dǎo)體生產(chǎn)、檢測中的重要設(shè)備，其圓心定位的精度容易受檢測誤差的影響，因此針對誤差的補(bǔ)償算法是提高晶圓校準(zhǔn)精度的關(guān)鍵技術(shù)。針對檢測誤差中晶圓承載面傾斜影響采樣精度問題，建立了晶圓傾斜后在水平面橢圓投影的物理模型，推導(dǎo)橢圓與晶圓圓心的解析關(guān)系，并采用相應(yīng)的橢圓方程進(jìn)行擬合。為了進(jìn)一步提高補(bǔ)償及擬合精度，提出了一種引入遺忘因子的擴(kuò)展卡爾曼濾波的橢圓擬合算法，該算法采用密...