高質(zhì)量碲鎘汞雙層異質(zhì)結(jié)材料制備

摘要： 本文重點介紹了富汞垂直液相外延技術(shù)，在對該技術(shù)進行研究時，提出了一種溫場優(yōu)化方法和一種生長方法來提升材料質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。最后介紹基于雙層異質(zhì)結(jié)材料采用臺面結(jié)器件加工等碲鎘汞探測器組件制備方法，制備中波、長波和甚長波碲鎘汞探測器組件的進展情況。