多條薄膜鈮酸鋰波導(dǎo)熱光移相器設(shè)計與性能對比

摘要： 通過多物理場模擬對比了不同加熱電路時三條薄膜鈮酸鋰波導(dǎo)情況下熱光移相器的溫度分布、調(diào)制效率與瞬態(tài)響應(yīng)。結(jié)果顯示：薄膜鈮酸鋰熱光移相器總阻值不變的情況下，在僅有一條位于中心波導(dǎo)正上方的加熱電極時具有最高的熱調(diào)制效率；采用多條離散分布的加熱電阻經(jīng)優(yōu)化后可在調(diào)制效率基本不變的情況下獲得更優(yōu)的熱串擾，尤其適用于多波導(dǎo)集成時的局部調(diào)制；三維多物理場模擬結(jié)果顯示優(yōu)異的熱調(diào)制效率（約34 m... （共7頁）