薄膜鈮酸鋰光波導器件的研究進展（特邀）

摘要： 鈮酸鋰材料因其寬的透明窗口、成熟的波導制作工藝，以及優(yōu)異的電光效應，在過去幾十年中被廣泛應用于制作高性能光波導電光調(diào)制器與電光開關(guān)。近年來，隨著高質(zhì)量薄膜鈮酸鋰的商品化，研究人員又開發(fā)了多種高性能的薄膜鈮酸鋰光波導器件，這些器件的性能已經(jīng)遠遠超過了傳統(tǒng)塊狀鈮酸鋰波導器件。本文主要梳理了近年來薄膜鈮酸鋰平臺上的光波導、光柵耦合器、邊緣耦合器、電光調(diào)制器及可調(diào)諧濾波器的研究進展，簡...