薄膜鈮酸鋰片上集成多維復用光子器件（特邀）

摘要： 鈮酸鋰（LiNbO3）材料因其優(yōu)異的電光、聲光和非線性光學特性，被視為實現(xiàn)高性能集成光電子芯片的理想材料平臺。近年來，隨著晶圓級絕緣襯底上的鈮酸鋰（LNOI）薄膜的成功制備和微納加工技術(shù)的突破，LNOI平臺在大規(guī)模高速光電子器件集成方面已展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。在高速調(diào)制器等基礎(chǔ)通信器件已成功利用光電子集成技術(shù)實現(xiàn)的基礎(chǔ)上，通過多信道并行傳輸數(shù)據(jù)以擴展鏈路容量的先進多路復用技術(shù)也受到廣... （共21頁）