基于流量預(yù)測(cè)的波紋管泵流量脈動(dòng)抑制控制方法

摘要： 隨著晶圓內(nèi)部線寬減小，在晶圓制造的濕法清洗工藝中對(duì)超純水雜質(zhì)顆粒的數(shù)量和直徑提出了更嚴(yán)格的要求，以提高晶圓生產(chǎn)的產(chǎn)量，因此，對(duì)作為流控部件的波紋管泵(BsP)有更高的要求。針對(duì)波紋管泵運(yùn)行過程中流量脈動(dòng)導(dǎo)致的超潔凈水顆粒雜質(zhì)增加和晶圓良品率下降的問題，提出了一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)流量預(yù)測(cè)模型的流量脈動(dòng)抑制控制方法。首先，闡述了波紋管泵的工作原理和流量脈動(dòng)產(chǎn)生的原因；然后，介紹了波紋管...