基于VLPE技術的碲鎘汞p-on-n雙層異質結材料與器件研究進展

摘要： 本文對比分析了碲鎘汞p-on-n器件四種制備方式的優(yōu)劣，其中，VLPE(Vertical Liquid Phase Epitaxy)技術具有原位As摻雜與高激活率的技術優(yōu)勢，是制備高性能p-on-n雙層異質結器件的重要方式。針對該技術，從材料生長、器件工藝和器件性能方面回顧了國內外研究進展，討論了國內外差距，明確了制約該技術發(fā)展的關鍵問題和技術難點，并提出了解決思路。最后，展望...