氣囊拋光藍(lán)寶石弧面研究分析

摘要： 隨著國防軍工和LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，對藍(lán)寶石襯底的需求和形狀復(fù)雜度的要求逐步提升。藍(lán)寶石傳統(tǒng)拋光方式如化學(xué)機(jī)械拋光存在效率低、曲面加工效果不佳等問題，而氣囊拋光作為快速拋光方式之一，適用于各種曲面的拋光，故將氣囊拋光技術(shù)應(yīng)用于藍(lán)寶石弧面拋光。首先基于機(jī)器人平臺建立拋光運(yùn)動模型，隨后通過單因素試驗(yàn)和正交試驗(yàn)得到較優(yōu)工藝參數(shù)，最后在較優(yōu)工藝參數(shù)下進(jìn)行整弧面拋光并探究拋光時間對藍(lán)寶石表面質(zhì)...