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電子超純水制備過程典型痕量有機(jī)污染物去除機(jī)理

工業(yè)水處理 頁數(shù)： 5 2023-11-17
摘要： 基于某12寸半導(dǎo)體超純水中試線，對超純水系統(tǒng)各處理單元總有機(jī)碳（TOC）去除過程及有機(jī)組分分子質(zhì)量分布情況進(jìn)行了跟蹤檢測，探究了有機(jī)碳紫外降解（TOC-UV）裝置照射強(qiáng)度、水力停留時(shí)間和有機(jī)物分子鍵能對水中典型痕量有機(jī)污染物去除效果的影響。結(jié)果表明：兩級反滲透（RO）系統(tǒng)可去除98.5%的TOC，一級RO產(chǎn)水中含有97.3%分子質(zhì)量低于350 u的中性小分子物質(zhì)；在一定范圍內(nèi)提...

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