300 mm晶圓翹曲檢測(cè)豎直裝夾形變分析及驗(yàn)證

摘要： 針對(duì)晶圓翹曲檢測(cè)中晶圓受外力引入附加形變難以消除及量化的問(wèn)題，面向快速高精度晶圓翹曲工業(yè)檢測(cè)提出一種改進(jìn)的豎直自動(dòng)裝夾方案，具有精確約束、裝夾流程簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)。借助理論分析和有限元仿真結(jié)合晶圓翹曲表征方法，提出了一種晶圓裝夾設(shè)計(jì)的分析方法，得到了不同關(guān)鍵設(shè)計(jì)參數(shù)與晶圓附加翹曲的關(guān)系，實(shí)現(xiàn)了豎直裝夾機(jī)構(gòu)關(guān)鍵參數(shù)的正向設(shè)計(jì)，并基于設(shè)計(jì)結(jié)果進(jìn)行了重復(fù)裝夾驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。分析及實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，豎...