基于自適應(yīng)PI模型的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器精密定位方法

摘要： 由于具備較高的定位精確度，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器在超精密加工、微納米測(cè)試等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，然而壓電陶瓷固有的遲滯性嚴(yán)重影響其定位精確度。研究了驅(qū)動(dòng)范圍對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器遲滯性的影響，實(shí)驗(yàn)得出遲滯性隨驅(qū)動(dòng)范圍增大而顯著。而在壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的實(shí)際應(yīng)用中，驅(qū)動(dòng)范圍是其主要的設(shè)置參數(shù)之一。為此，提出基于自適應(yīng)Prandtle-Ishlinskii(PI)模型的擬合方法，根據(jù)不同驅(qū)動(dòng)范圍下獲得的遲滯...