基于自適應PI模型的壓電陶瓷驅(qū)動器精密定位方法

摘要： 由于具備較高的定位精確度，壓電陶瓷驅(qū)動器在超精密加工、微納米測試等領域應用廣泛，然而壓電陶瓷固有的遲滯性嚴重影響其定位精確度。研究了驅(qū)動范圍對壓電陶瓷驅(qū)動器遲滯性的影響，實驗得出遲滯性隨驅(qū)動范圍增大而顯著。而在壓電陶瓷驅(qū)動器的實際應用中，驅(qū)動范圍是其主要的設置參數(shù)之一。為此，提出基于自適應Prandtle-Ishlinskii(PI)模型的擬合方法，根據(jù)不同驅(qū)動范圍下獲得的遲滯... （共8頁）