當(dāng)前位置：首頁 > 科技文檔 > 無線電子 > 正文

E1310P和FMEE復(fù)配對(duì)銅膜CMP性能的影響

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 9 2024-04-11
摘要： 針對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)中傳統(tǒng)唑類緩蝕劑毒性強(qiáng)、成本高，在表面形成堅(jiān)硬鈍化膜難以去除等問題，在甘氨酸-雙氧水體系下，使用陰離子表面活性劑聚氧乙烯醚磷酸酯(E1310P)和非離子表面活性劑脂肪酸甲酯乙氧基化物(FMEE)復(fù)配替代傳統(tǒng)唑類緩蝕劑。通過去除速率、表面粗糙度和表面形貌等的實(shí)驗(yàn)結(jié)果研究了E1310P和FMEE協(xié)同作用對(duì)CMP過程中表面質(zhì)量的影響。通過表面張力、電化學(xué)性能...

開通會(huì)員，享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場(chǎng)研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件