具有多孔雙微結構層的柔性電容式壓力傳感器

摘要： 電極和介電層的材料性能和表面結構是決定柔性電容式壓力傳感器性能的關鍵因素。將碳納米管(CNT)與硅橡膠結合制備出拉伸性能優(yōu)良的斜線型微結構電極層。以聚二甲基硅氧烷(PDMS)/BaTiO₃/SrTiO₃復合材料制備多孔砂紙微結構介電層。電極與介電層交界面構成雙重微結構以提升電荷攜帶能力。場發(fā)射掃描電子顯微鏡與光學顯微鏡觀測結果驗證了上述微結構的存在。基于電容模型的分析表明，...