當(dāng)前位置：首頁 > 科技文檔 > 無線電子 > 正文

投影微立體光刻技術(shù)在微流控芯片領(lǐng)域的研究進(jìn)展

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 12 2024-04-09
摘要： 對投影微立體光刻(PμSL)技術(shù)在微流控芯片領(lǐng)域的優(yōu)勢進(jìn)行了簡要概述，介紹了其技術(shù)原理以及數(shù)字微鏡設(shè)備(DMD)的工作機(jī)制。分析了影響PμSL技術(shù)提高XY平面和Z軸打印分辨率的因素，重點(diǎn)討論了通過優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)、樹脂配方、打印方式及圖像算法等途徑以提高單步制作微流控封閉管道Z軸分辨率的技術(shù)方法，并介紹了PμSL技術(shù)在多材料打印領(lǐng)域的研究進(jìn)展。此外，對近年來國內(nèi)外利用PμSL技術(shù)制...

開通會(huì)員，享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件