單晶金剛石的動態(tài)摩擦拋光

摘要： 在眾多單晶金剛石拋光方法中，動態(tài)摩擦拋光(DFP)因其具有極高的去除速率而受到廣泛關(guān)注。研究DFP過程中3種拋光參數(shù)(拋光載荷、拋光時間和拋光盤線速率)以及3種夾持方式(粘接式、鑲嵌式和卡鉗式)對單晶金剛石拋光效果的影響。結(jié)果表明：增大拋光載荷、拋光時間和拋光盤線速率，都會導(dǎo)致樣品的質(zhì)量損耗增加和表面粗糙度降低，并提升金剛石(400)面的衍射峰強度。在3種夾持方法中，粘接式夾持...