大束流陽極層離子源的陰極刻蝕現(xiàn)象及消除措施

摘要： 陽極層離子源可輸出高密度離子束流,廣泛用于等離子體清洗和輔助沉積,但大束流下內(nèi)部易發(fā)生放電擊穿,且大量離子轟擊內(nèi)外陰極導(dǎo)致明顯刻蝕,易造成樣品污染.本文提出陽極環(huán)繞磁屏蔽罩和內(nèi)外陰極濺射屏蔽板的設(shè)計(jì)方案,并仿真研究了其對(duì)離子源電磁場和等離子體放電輸運(yùn)的影響.發(fā)現(xiàn)陽極環(huán)繞磁屏蔽罩可切斷離子源內(nèi)部陰陽極間的磁場回路,消除打火條件.內(nèi)外陰極濺射屏蔽板選擇濺射產(chǎn)額低且絕緣性能好的氧化鋁...