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基于勻光管的極紫外消相干和光強(qiáng)均勻化仿真研究

物理學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 12 2024-04-24
摘要： 自由電子激光光源(free electron laser, FEL)可發(fā)出波長(zhǎng)為13.5 nm的極紫外(extreme ultra-violet, EUV)輻射,在EUV光刻領(lǐng)域能夠發(fā)揮重要作用.但FEL自身的高相干特性以及類高斯光強(qiáng)輪廓分布特征,會(huì)對(duì)成像帶來不利影響,無法滿足EUV光刻領(lǐng)域成像應(yīng)用需求.本文通過計(jì)算模擬的方法,設(shè)計(jì)了一種匹配FEL應(yīng)用的、用于EUV波段去相干和... （共12頁）

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