線性調(diào)頻激光回饋粒度探測靈敏度提升方法

摘要： 激光回饋(或激光自混合干涉)技術(shù)在位移、距離、速度、振動等傳統(tǒng)物理量測量領(lǐng)域具有廣泛的研究和應(yīng)用.近20年來,這項技術(shù)在納米粒度檢測中也展示出了巨大的前景,其測量原理是:基于激光束與照射區(qū)域每個粒子相互作用的非相干疊加,粒子直徑可以通過激光回饋信號功率譜的洛倫茲擬合而求出.激光回饋粒度檢測一般使用恒流驅(qū)動的半導(dǎo)體激光器,其信號功率譜峰會位于零頻附近,只呈現(xiàn)出右側(cè)部分,有些使用固...