PVT法AlN晶體生長模式調(diào)控研究

摘要： 物理氣相傳輸(PVT)法制備AlN晶體時，亞晶的產(chǎn)生會降低晶體質(zhì)量，甚至多晶化。本文通過調(diào)節(jié)熱/動力學(xué)生長條件，研究AlN晶體中亞晶產(chǎn)生及變化規(guī)律，提出抑制方法調(diào)控生長模式。實驗結(jié)果表明，大的溫度波動導(dǎo)致晶體表面氣相物質(zhì)過飽和度波動變大，增加高指數(shù)晶面的形成概率，這些晶面因非一致性難以實現(xiàn)完美聚并。本文還研究了穩(wěn)定溫場條件下，氣相物質(zhì)輸運對生長模式的影響。實驗及模擬結(jié)果顯示，傳...