基于計(jì)算全息圖的大口徑長(zhǎng)焦距離軸拋物面反射鏡測(cè)量

摘要： 隨著激光脈沖寬度極限的不斷突破以及峰值功率的不斷提高，脈寬壓縮光柵的尺寸需要進(jìn)一步增大。但反射式曝光系統(tǒng)所需大口徑長(zhǎng)焦距離軸鏡的高精度加工檢測(cè)成為制約大口徑光柵制作的難題。采用計(jì)算全息補(bǔ)償檢測(cè)不需要復(fù)雜的設(shè)計(jì)和裝調(diào)，但同樣會(huì)引入非回轉(zhuǎn)對(duì)稱和復(fù)雜的二維投影畸變。傳統(tǒng)的畸變校正方法由于精度受限或計(jì)算復(fù)雜不利于工程應(yīng)用。提出基于數(shù)值計(jì)算的畸變校正方法，該方法具有簡(jiǎn)單通用易于編程的優(yōu)點(diǎn)... （共11頁(yè)）