基于等效元件和相位補(bǔ)償法的雙倍分辨率波片測量

摘要： 提出了一種基于等效元件和相位補(bǔ)償法的高精度任意波片相位延遲量和方位角同時測量的方法。在測量光路中的待測波片之前插入一個可旋轉(zhuǎn)半波片，利用反射鏡使測量光兩次過該半波片和待測波片，相當(dāng)于測量一個相位延遲量為待測波片兩倍的等效波片，可以實現(xiàn)雙倍分辨率檢測。采用雙頻激光源和相位檢測方式，旋轉(zhuǎn)半波片補(bǔ)償測量光相位，將測量光相對參考光的相位差變化先后調(diào)整為最大值和最小值，由二者之差即可得到...