垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器氧化優(yōu)化研究

摘要： GaAs基垂直腔面發(fā)射激光器在干法刻蝕過程中，臺(tái)面?zhèn)缺谛纬傻娜毕輹?huì)導(dǎo)致器件出現(xiàn)層結(jié)構(gòu)分層、斷裂以及氧化孔不規(guī)則等問題。針對(duì)該問題，提出了一種干法刻蝕與硫化銨鈍化相結(jié)合的氧化前預(yù)處理方案，研究了硫化銨鈍化處理對(duì)器件層結(jié)構(gòu)以及氧化工藝穩(wěn)定性的影響。掃描電子顯微鏡測(cè)試結(jié)果表明：器件側(cè)壁層結(jié)構(gòu)的分層現(xiàn)象減少，器件結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性更好；高Al層的氧化速率更穩(wěn)定，氧化孔形狀更為規(guī)則。將該工藝方案...