一種高真空零部件放氣率測試裝置的研制
真空科學與技術學報
頁數(shù): 11 2024-05-30
摘要: 材料的真空放氣特性是聚變裝置需重點研究和關注的內(nèi)容。為了研究大尺寸組件在聚變裝置真實運行環(huán)境下的放氣特性,基于對稱結(jié)構(gòu)流導法針對性設計研制了一套放氣率測試裝置,該裝置能模擬聚變裝置烘烤溫度條件(室溫~300℃)且測量范圍覆蓋(10
-5~10
-9) Pa·m~3·s
-1量級。此外,重點針對樣品室的加熱、冷卻系統(tǒng)進行熱仿真驗證以確保零部件在放氣率測試時能模擬其在托... (共11頁)