便攜式分壓力質譜計校準裝置的性能測試研究

摘要： 文章對新研制的便攜式分壓力質譜計校準裝置的部分性能進行了測試。采用參考電離真空計測量了裝置的極限真空度；對于流導值在10^-2 m~3/s的圓孔型抽氣流導元件，通過精確測量其直徑和厚度的尺寸，采用公式計算得到分子流條件下的流導值；對于孔徑在微米量級的進氣流導元件，采用定容衰減壓力的方法通過實驗測量確定其流導值；采用同一真空計分別測量抽氣流導元件兩端的氣體壓力獲得返流比。測試... （共6頁）