不同參數(shù)四極桿組件寬質(zhì)量范圍性能仿真
真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)
頁數(shù): 9 2023-11-10
摘要: 四極質(zhì)譜計(jì)應(yīng)用需求的不斷擴(kuò)大對(duì)四極桿組件需求量迅速增加,為滿足大批量、通用化要求需研發(fā)幾種固定尺寸的模塊化四極桿組件,再設(shè)計(jì)不同的射頻電源來滿足應(yīng)用需求?;谒臉O電場(chǎng)和離子運(yùn)動(dòng)理論,使用離子光學(xué)仿真軟件SIMION對(duì)電場(chǎng)分布和離子運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行了建模和計(jì)算分析。仿真分析結(jié)果表明,在所選定仿真參數(shù)下,場(chǎng)半徑主要決定大質(zhì)荷比離子通過率曲線形狀,其對(duì)不同質(zhì)荷比離子通過率影響不同,對(duì)分辨... (共9頁)