金剛石線鋸電火花復(fù)合切割硬脆半導(dǎo)體的研究進(jìn)展

摘要： 太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)和電子工業(yè)的迅速發(fā)展對(duì)使用的晶體硅等硬脆半導(dǎo)體材料的切割提出了更高的要求。為了進(jìn)一步提高硬脆半導(dǎo)體的切割加工質(zhì)量和生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，金剛石線鋸電火花復(fù)合切割技術(shù)開始被應(yīng)用到硬脆半導(dǎo)體的切割中。文章從加工原理、工藝性能和影響因素等方面綜述了金剛石線鋸電火花復(fù)合切割硬脆半導(dǎo)體材料的研究現(xiàn)狀，并對(duì)后續(xù)的發(fā)展和研究方向進(jìn)行了展望。