考慮晶圓駐留時(shí)間約束的雙臂組合設(shè)備群調(diào)度
制造技術(shù)與機(jī)床
頁數(shù): 8 2024-02-02
摘要: 組合設(shè)備群代表了當(dāng)前晶圓制造裝備發(fā)展的新趨勢,其調(diào)度控制水平直接攸關(guān)半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)的整體經(jīng)濟(jì)效益。針對半導(dǎo)體芯片制造中考慮晶圓駐留時(shí)間約束的雙臂組合設(shè)備群,文章提出了一種基于特征轉(zhuǎn)換的調(diào)度控制方法。首先,引入一種概念型晶圓制造系統(tǒng),即特征雙臂組合設(shè)備,并給出相應(yīng)的穩(wěn)態(tài)調(diào)度方法。其次,采用特征轉(zhuǎn)換方法,將線性/樹形結(jié)構(gòu)的雙臂組合設(shè)備群轉(zhuǎn)換為特征雙臂組合設(shè)備。隨后,根據(jù)轉(zhuǎn)換后的...