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2 m平面鏡檢測光路偏心調(diào)整誤差影響分析

應用激光 頁數(shù): 9 2024-06-25
摘要: 大口徑平面鏡面形高精度檢測是一個精密裝調(diào)的過程,面形恢復精度易受檢測過程中人為主觀因素的干擾。為解決大口徑平面鏡高精度面形檢測問題,對光路檢測偏心誤差以及由偏心誤差引起的瑞奇角計算精度改變、干涉儀中心到平面鏡距離等聯(lián)動誤差進行分析。通過使用光學軟件搭建2 m平面鏡檢測模型,設定不同的偏心誤差獲得系統(tǒng)波像差,解算系統(tǒng)波像差數(shù)據(jù)獲得待測平面鏡面形數(shù)據(jù),與預設標準面形進行對比。分析發(fā)... (共9頁)

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