當(dāng)前位置：首頁 > 科技文檔 > 自動(dòng)化 > 正文

FeGa膜/AT切石英晶片雙面復(fù)合蝶形諧振磁場傳感器

儀器儀表學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 9 2024-03-15
摘要： 蝶形磁致伸縮膜由于磁匯聚，其中心區(qū)域的磁致伸縮應(yīng)變增強(qiáng)，但是和矩形AT切石英晶片復(fù)合時(shí)，磁膜耦合至矩形晶片電極區(qū)的應(yīng)變會(huì)向周圍無磁膜區(qū)域擴(kuò)散，降低應(yīng)變對晶片厚度剪切振動(dòng)的作用，降低磁場傳感器靈敏度。提出AT切石英晶片和FeGa膜形狀一樣的蝶形諧振磁場傳感器，蝶形晶片可以將蝶形磁膜增強(qiáng)的晶片應(yīng)變匯聚至晶片電極區(qū)，以提高傳感器靈敏度。仿真結(jié)果預(yù)測，在23.8～118.9 Oe的磁場...

開通會(huì)員，享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險(xiǎn) 投資 會(huì)計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動(dòng)力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動(dòng)物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動(dòng)化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動(dòng)物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件