單相激勵(lì)電容式時(shí)柵角位移傳感器研究

摘要： 針對(duì)現(xiàn)有多相激勵(lì)時(shí)柵角位移傳感器在小體積時(shí)無法設(shè)置更多極對(duì)數(shù)進(jìn)一步提升穩(wěn)定性，導(dǎo)致精度和動(dòng)態(tài)性能指標(biāo)無法得到提升等問題，提出一種單相激勵(lì)電容式時(shí)柵角位移測量方法。該方法采用單相激勵(lì)耦合成四路空間正交的駐波信號(hào)，通過電路實(shí)現(xiàn)行波構(gòu)造，從而實(shí)現(xiàn)角位移測量。文中介紹了多相激勵(lì)時(shí)柵傳感器存在的問題、單相激勵(lì)時(shí)柵的測量原理，完成了傳感器樣機(jī)的研制，并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證該原理的有效性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表... （共8頁）