LCD面板C/FOG工藝制造虛擬計(jì)量方法研究
儀器儀表學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 10 2024-02-05
摘要： 針對(duì)液晶顯示器(LCD)面板的“Chip/FPC on Glass”(C/FOG)工藝生產(chǎn)制造過(guò)程中存在的計(jì)量延遲大、生產(chǎn)異常無(wú)法提前預(yù)測(cè)的問(wèn)題，本文提出一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的C/FOG工藝生產(chǎn)制造虛擬計(jì)量方法。該方法利用生產(chǎn)機(jī)臺(tái)上的傳感器采集生產(chǎn)過(guò)程中的過(guò)程狀態(tài)數(shù)據(jù)，構(gòu)建基于多尺度一維卷積及通道注意力模型(MS1DC-CA)的虛擬計(jì)量模型。通過(guò)多個(gè)尺度的卷積核提取不同尺度范圍內(nèi)的...
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