MEMS環(huán)形陀螺模態(tài)間剛度耦合頻率調(diào)諧

摘要： MEMS陀螺結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)和檢測模態(tài)諧振頻率差(Δf)是決定其機(jī)械靈敏度的主要因素，當(dāng)Δf≈0時(shí)，陀螺處于頻率調(diào)諧狀態(tài)，此時(shí)陀螺的機(jī)械靈敏度達(dá)到最大值。本文針對一種電容式全對稱S形彈性梁硅基環(huán)形波動(dòng)陀螺，對其使用調(diào)頻電壓進(jìn)行頻率調(diào)諧過程中發(fā)現(xiàn)，模態(tài)間存在一定的剛度耦合。本文分析其模態(tài)間剛度耦合產(chǎn)生的原因是結(jié)構(gòu)誤差(環(huán)形諧振子的結(jié)構(gòu)誤差主要體現(xiàn)在兩個(gè)振動(dòng)參數(shù)，一個(gè)是頻率，另一個(gè)是阻尼... （共8頁）