脈沖對InGaZnO薄膜晶體管性能的影響

摘要： 超大尺寸IGZO(InGaZnO）產(chǎn)品在高溫高濕（50℃/80%）信賴性評價中易發(fā)生異常顯示不良（Abnormal Display,AD）。其不良原因主要是集成柵極驅(qū)動電路（Gate Driver On Array,GOA）的關鍵器件M2轉(zhuǎn)移特性曲線（I_(DS)-V_(GS)）在評價中發(fā)生了嚴重正移。本文通過脈沖實驗，模擬GOA關鍵器件M2的實際工作環(huán)境，重現(xiàn)了轉(zhuǎn)移特性曲線嚴...