壓電復合薄膜的SAW器件雜波抑制及仿真方法

摘要： 針對任意復雜膜系結構壓電復合薄膜聲表面波(SAW)器件橫向雜波抑制及精確快速仿真方法，從數(shù)學上嚴格分析推導了有限長結構分層級聯(lián)理論和色散2D-COM模型，可精確快速地計算壓電復合薄膜SAW器件傳播方向及孔徑方向結構對雜波模式的影響，并通過色散2D-COM模型對SAW器件雜波抑制進行綜合分析。通過對41°Y-X LiNbO₃/SiO₂/Si＿poly/Si(111)復合襯底S...