石英濕法腐蝕及諧振器制作工藝研究

摘要： 隨著石英諧振器向小型化、高頻化發(fā)展，其尺寸越來越小，因此，低成本的諧振器精準制造工藝尤為重要。該文對石英晶片進行腐蝕實驗以確定精準制造矩形諧振器的最佳工藝條件，研究了溫度對金屬保護層完整性的影響，以及腐蝕時間對石英表面粗糙度的影響。腐蝕速率穩(wěn)定且適中，有利于諧振器的精準制造。設計了石英諧振器工藝流程，得到質量較好的超薄矩形AT切高頻石英諧振器。分析其尺寸誤差產生的原因，并總結了...