基于IDT/ZnO/AlN/Diamond結(jié)構(gòu)的混合SAW/BAW壓力敏感元件特性研究

摘要： 利用有限元方法分析了基于IDT/ZnO/AlN/Diamond不同結(jié)構(gòu)混合SAW/BAW器件的聲學(xué)特性，包括層狀薄膜結(jié)構(gòu)、ZnO薄膜刻蝕結(jié)構(gòu)和填充結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明，當(dāng)h_(ZnO)/λ=0.3、h_(AlN)/λ=0.5,且ZnO被完全刻蝕(d/h_(ZnO)=1)時(shí)，刻蝕結(jié)構(gòu)混合SAW/BAW(準(zhǔn)西沙瓦波)的機(jī)電耦合系數(shù)(K~2)取得最大值6.54%,比層狀結(jié)構(gòu)(d/h_(Zn...