30%),其水平剪切(SH)聲學模式常被應用于開發(fā)具有大機電耦合系數的薄膜聲學諧振器和超寬帶濾波器。但LN的頻率溫度系數較大(TCF>-50×10-6/℃),這不僅會降低濾波器的可用有效帶寬，同時也會限制器件的功率處理能力。采用3D周期有限元模型對基于X切LN/SiO2/Si結構SH聲表面波(SH-SAW...">
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基于X-LiNbO3/SiO2/Si低溫漂、大機電耦合SH-SAW諧振器的設計

壓電與聲光 頁數： 6 2024-06-20
摘要： 鈮酸鋰(LN)單晶薄膜具有較高的機電耦合系數(k_(eff)~2>30%),其水平剪切(SH)聲學模式常被應用于開發(fā)具有大機電耦合系數的薄膜聲學諧振器和超寬帶濾波器。但LN的頻率溫度系數較大(TCF>-50×10-6/℃),這不僅會降低濾波器的可用有效帶寬，同時也會限制器件的功率處理能力。采用3D周期有限元模型對基于X切LN/SiO2/Si結構SH聲表面波(SH-SAW... （共6頁）

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