當(dāng)前位置：首頁 > 科技文檔 > 無線電子 > 正文

C波段橫向激勵薄膜體聲波諧振器設(shè)計(jì)與制備

壓電與聲光 頁數(shù)： 5 2024-06-20
摘要： 針對未來移動通信對射頻前端器件提出的多頻率、高集成新要求，開展了兼具聲表面波(SAW)諧振器和薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)特點(diǎn)的新型橫向激勵蘭姆波諧振器研究。該文介紹了基于c軸擇優(yōu)取向氮化鋁(AlN)壓電薄膜的C波段橫向激勵薄膜體聲波諧振器(XBAR)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、參數(shù)優(yōu)化和制備方法，并進(jìn)行了工藝驗(yàn)證。通過剝離和刻蝕等步驟制備了諧振頻率4.464 GHz、品質(zhì)因數(shù)3 039、...

開通會員，享受整站包年服務(wù)立即開通 >
科技文檔
數(shù)學(xué) 力學(xué) 化學(xué) 金融 證券 保險 投資 會計(jì) 審計(jì) 園藝 林業(yè) 旅游 體育 物理學(xué) 生物學(xué) 天文學(xué) 氣象學(xué) 海洋學(xué) 地質(zhì)學(xué) 新能源 金屬學(xué) 農(nóng)藝學(xué) 農(nóng)作物 管理學(xué) 領(lǐng)導(dǎo)學(xué) 自然科學(xué) 系統(tǒng)科學(xué) 資源科學(xué) 無機(jī)化工 有機(jī)化工 燃料化工 化學(xué)工業(yè) 材料科學(xué) 礦業(yè)工程 冶金工業(yè) 安全科學(xué) 環(huán)境科學(xué) 工業(yè)通用 機(jī)械工業(yè) 無線電子 電信技術(shù) 鐵路運(yùn)輸 汽車工業(yè) 船舶工業(yè) 動力工程 電力工業(yè) 農(nóng)業(yè)科學(xué) 農(nóng)業(yè)工程 植物保護(hù) 動物醫(yī)學(xué) 教育理論 學(xué)前教育 初等教育 中等教育 高等教育 職業(yè)教育 成人教育 自然地理 地球物理 經(jīng)濟(jì)統(tǒng)計(jì) 農(nóng)業(yè)經(jīng)濟(jì) 工業(yè)經(jīng)濟(jì) 交通經(jīng)濟(jì) 企業(yè)經(jīng)濟(jì) 文化經(jīng)濟(jì) 信息經(jīng)濟(jì) 貿(mào)易經(jīng)濟(jì) 財(cái)政稅收 市場研究 科學(xué)研究 互聯(lián)網(wǎng) 自動化 輕工業(yè) 核科學(xué) 服務(wù)業(yè) 石油然氣 服務(wù)業(yè) 野生動物 水產(chǎn)漁業(yè) 硬件 儀器儀表 航空航天 武器軍事 公路運(yùn)輸 水利水電 建筑科學(xué) 軟件