雜模抑制薄膜體聲波諧振器的仿真分析

摘要： 該文研究了電極邊界階梯結(jié)構(gòu)對薄膜體聲波諧振器(FBAR)雜波的影響。采用有限元仿真法討論了階梯結(jié)構(gòu)寬度尺寸對雜波的抑制效果，結(jié)合振型分析該結(jié)構(gòu)能抑制聲波能量的泄露，提高器件品質(zhì)因數(shù)。為了進(jìn)一步驗(yàn)證仿真結(jié)果，實(shí)驗(yàn)制備了FBAR器件。測試結(jié)果表明，當(dāng)該階梯結(jié)構(gòu)凸起寬度為3μm,凹陷寬度為1.5μm時，諧振器雜波被有效抑制，反諧振頻率處的品質(zhì)因數(shù)約增大100。