高Q值橫向激發(fā)體聲波諧振器的設(shè)計與制備

摘要： 隨著5G移動通信時代的發(fā)展，射頻前端(RF front-ends)的濾波和信號處理迫切需要高頻大帶寬的聲學(xué)諧振器。橫向激發(fā)體聲波諧振器(XBAR)具有超高的工作頻率和超大的機電耦合系數(shù)(k~2),但其品質(zhì)因數(shù)(Q)值不高，阻礙了其在射頻前端中的應(yīng)用。該文提出了一種基于ZY切鈮酸鋰(LiNbO₃)的XBAR諧振器，通過有限元(FEM)仿真對諧振器進行了優(yōu)化設(shè)計，并在微機電系統(tǒng)(...