邊緣空氣層薄膜體聲波諧振器的設(shè)計(jì)與制備

摘要： 壓電薄膜存在固有的對(duì)壓電效應(yīng)的非線性遲滯響應(yīng)，并且聲波有向邊緣傳播的橫波分量，二者都會(huì)產(chǎn)生聲波的能量損耗。該文設(shè)計(jì)了一種具有邊緣空氣層結(jié)構(gòu)的單晶氮化鋁薄膜體聲波諧振器，可以減小非線性遲滯的機(jī)電損耗并阻止橫波能量泄露，提高諧振器的品質(zhì)因數(shù)。使用COMSOL對(duì)設(shè)計(jì)的器件進(jìn)行有限元模擬仿真，并成功制備出具有邊緣空氣層結(jié)構(gòu)的諧振器進(jìn)行測試驗(yàn)證。