微型FBAR器件性能優(yōu)化設(shè)計

摘要： 利用有限元仿真軟件建立了薄膜體聲波諧振器模型，研究了不同諧振面積(3 600～10 000μm~2)條件下，電極形狀(矩形、梯形、圓形和正五邊形)及變跡角(30°、36°、40°和45°)對寄生諧振的影響，得到史密斯阻抗曲線和不圓度值，討論了階梯負(fù)載結(jié)構(gòu)對橫向聲波泄露的抑制作用。仿真結(jié)果表明，電極形狀為非正五邊形，變跡角為40°時，對寄生諧振的抑制效果最好；在諧振面積為3 60...