高后坐過(guò)載下硅基MEMS后坐保險(xiǎn)裝置響應(yīng)特性
探測(cè)與控制學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 6 2023-12-26
摘要： 針對(duì)硅基相較于金屬基材料延展性不足，在上萬(wàn)g發(fā)射環(huán)境下硅基MEMS后坐保險(xiǎn)裝置易發(fā)生失效的問(wèn)題，對(duì)一種垂直基板式硅基MEMS后坐保險(xiǎn)裝置進(jìn)行高后坐過(guò)載下響應(yīng)特性研究。研究結(jié)果表明：高后坐過(guò)載下后坐保險(xiǎn)裝置的最大應(yīng)力集中點(diǎn)位于靠近質(zhì)量塊的彈簧拐彎處，0.08 mm厚的彈簧在勤務(wù)跌落情況下最大應(yīng)力值為1 188 MPa;閉鎖機(jī)構(gòu)的直角卡鉤易發(fā)生閉鎖后反彈脫鉤；當(dāng)彈簧厚度不超出0.2...
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