GaAs基高性能MEMS微波功率檢測(cè)芯片

摘要： 為了提高電容式MEMS微波功率檢測(cè)芯片的性能，設(shè)計(jì)了一種GaAs基高性能MEMS微波功率傳感芯片。通過建立雙導(dǎo)固支梁電容模型，分析了傳感芯片的傳輸特性、過載功率與靈敏度特性。在雙導(dǎo)固支梁電容模型中提出了平行極板的兩個(gè)等效條件；同時(shí)提出了一種新的梁寬等效方式，解決了雙梁結(jié)構(gòu)等效梁寬的失配問題，減小了模型的相對(duì)誤差。雙導(dǎo)固支梁電容模型很好地解釋了導(dǎo)向梁的厚長(zhǎng)比與初始高度對(duì)傳感器過載...